因半導體機臺設備內(nèi)常使用化學藥劑，機臺設備所生產(chǎn)之產(chǎn)品又必須要可以轉送下一站別，故有了機械手臂這項產(chǎn)品。為了避免機臺內(nèi)的化學藥劑對機械手臂產(chǎn)生化學反應，許多廠商已經(jīng)開始改用陶瓷所生產(chǎn)的機械手臂。
會用在反應器系統(tǒng)內(nèi)，且電漿或是化學氣體有時會在此停留，故在鐘罩的材質使用上需特別注意耐酸堿耐腐蝕，因此目前有許多半導體設備上所使用之鐘罩采用陶瓷材質，鐘罩之外表也可以配合另外覆蓋其他金屬材質?；虮舅窘饘夔娬挚勺鎏沾杀砻嫣幚?。
壓緊環(huán)
用于光電業(yè)前段制程機臺設備中，長期會接觸化學藥劑，陶瓷材質可避免長期接觸化學藥劑產(chǎn)生腐蝕的現(xiàn)象。
陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板
多用于LCD蝕刻機臺設備，機臺需長期與化學藥劑接觸，中間孔洞部分是需鎖螺絲，所以它的材質多數(shù)必須考量可耐酸堿，抗腐蝕，故目前大多數(shù)都采用陶瓷材質。因應機臺的需求會產(chǎn)生很多不一樣型式，故我們樣式的陶瓷陶瓷長板/邊條/檔板/蓋板。提供客戶客制化的服務，可配合生產(chǎn)各式陶瓷或金屬長板陶瓷表面處理。
陶瓷絕緣體/防護蓋
會用于LCD蝕刻機臺設備，機臺需長期與化學藥劑接觸，因配合機臺制程別大小不同，如尺寸較小可做成一體成形，如此寸較大則會制作分段制作截取部分分段圖片如左圖。
天板
用于LCD蝕刻機臺設備，機臺需長期與化學藥劑接觸，天板的大小會因為設備的不同而有所不同，這邊可以配合客戶需求進行各種尺寸規(guī)格的生產(chǎn)。
其他應用
售前
